涂层工艺
派瑞林（Parylene）又叫聚对二甲苯，是一种独特的真空沉积聚合物，真空常温下生长出透明，高品质，致密无针孔的保形涂层。有多种Parylene聚合物，他们都是高线性、高度结晶的材料，包括Parylene N、Parylene C和ParyleneF以及Parylene HT，每种聚合物都有自己的材料特性，同时对大多数基材都具有优异的附着力。这些聚合物还具有超薄和重量轻的优点，它们还可提供优异的介电、湿气和化学屏障，增加引线键合的强度，确保有效的信号传输，并且与生物相容。派瑞林还具有极低的介电常数和损耗因数，使其能够通过薄涂层提供具有介电绝缘功能的小而紧密的封装，实际上每单位厚度的击穿电压会随着聚对二甲苯膜厚度的减小而增加。优异的耐化学性和耐腐蚀性、高介电强度、极低的湿气和气体渗透性、高温和紫外线稳定性以及生物相容性，使派瑞林成为医疗器械、航空航天、军事及其他工业涂层应用的首选涂层材料。
涂层加工艺过程从它的颗粒二聚体开始，称出所需的材料重量，在真空下加热，将其从固态转化为气态。气态下的派瑞林在较高温度下热解，由二聚体裂解成单体气体。随后将单体吸入室温涂布腔体，在该腔体中真空沉积到所需的基材表面。由于Parylene是在气相中的应用，它在所有未遮盖的表面（包括表面裂缝）上提供非常符合要求的涂层，远远超出了其他保形涂层工艺（如浸渍或喷涂）的能力。
派瑞林涂层加工工艺示意图
